
产品型号:氮化硅
更新时间:2026-07-14氮化铝陶瓷覆铜钎焊炉设备为难熔复合金属量身定制的专用高温真空钎焊设备。采用全钼金属洁净热场设计,摒弃传统石墨炉碳污染问题,精准解决钨钼合金高温氧化、渗碳脆化、钎缝气孔、母材变形开裂等行业痛点,是半导体、航空航天、精密真空器件钎焊、退火、除气的核心专用设备。

1. 零碳洁净热场,杜绝接头脆化全程钼带加热、多层钼箔隔热屏,无石墨、无碳析出,避免钨钼母材生成脆性碳化物,保障钎焊接头高强度、高气密性,成品合格率大幅提升。
2. 高真空防氧化,保留母材性能高真空机组营造低氧分压环境,从根源抑制钨钼高温氧化起皮、晶粒粗大,可在母材再结晶温度以下完成钎焊,保留材料原有塑性与力学性能。
3. 温场精准均匀,良品率高全域辐射式加热,温场均匀性±3~±5℃,温控精度±1℃,升温降温速率可控,有效避免工件局部过热、变形、开裂,钎料铺展均匀,钎缝致密无虚焊、无气孔。
4. 一机多用,性价比高兼容真空钎焊、应力退火、高温除气、扩散连接等多种工艺,满足难熔金属零部件加工全工序需求,适配批量量产与科研试样加工。
5. 稳定耐用,适配量产钼质发热体抗热震、耐高温、形变极小,双层水冷炉体恒温运行安全稳定,搭配智能PLC控制系统,工艺可追溯,适合长期连续工业化生产。
加热系统:高纯钼带/钼箔发热体,环形全域加热,最高工作温度可达1600℃,适配钨钼合金标准钎焊工艺窗口。
隔热系统:多层高纯钼箔复合隔热屏,无粉尘、无杂质挥发,炉膛洁净度。
真空系统:标配扩散泵机组(极限真空6×10⁻³Pa),可选配分子泵高真空机组(8×10⁻⁴Pa),满足精密钎焊需求。
控制系统:PLC触摸屏智能操控,30段可编程工艺曲线,具备超温、真空异常、断偶自动报警连锁保护,工艺数据可存储导出。
炉体结构:双层水冷承压炉壳,多款式炉门可选,适配大、中、小型各类钨钼工件装夹加工。
项目 | 标准机型 | 定制机型 |
|---|---|---|
最高工作温度 | 1350℃ | 1450℃/1600℃ |
温控精度 | ±1℃ | ±0.5℃ |
温场均匀性 | ±5℃ | ±3℃ |
极限真空度 | 6×10⁻³Pa | 8×10⁻⁴Pa(分子泵) |
升温速率 | 0~10℃/min(可调) | 0~15℃/min(可调) |
炉膛尺寸 | 常规多规格 | 按需定制方形/圆形炉膛 |
适用母材:纯钨、纯钼、钨钼合金、钨铜、钼铜、钼陶瓷复合材料、难熔金属异种连接。
适配钎料:镍基、铜基、银铜、活性高温钎料。
应用行业:半导体精密零部件、航空航天高温结构件、真空电子器件、溅射靶材组件、新能源高温配件、科研院所材料研发。
工件清洗烘干 → 钎料摆放工装定位 → 入炉密封抽真空 → 低温除气 → 中温预热 → 高温钎焊恒温 → 可控匀速降温 → 充氩破真空出料