铝碳化硅真空热压炉｜AlSiC 复合材料专用热压烧结设备

铝碳化硅真空热压炉是东莞市志远工业设备有限公司针对电子封装散热基材研发的专用真空热压烧结装备，专为铝碳化硅（AlSiC）复合材料坯体的致密化成型设计，也可兼容多种金属基复合材料、陶瓷基复合材料的热压工艺。在功率半导体、射频器件、激光封装行业，AlSiC 材料对致密度、热导率、热膨胀系数一致性要求严苛，常规无压烧结容易出现孔隙多、性能离散大等问题，通过真空环境下温度、压力同步精准管控，实现粉体坯体致密化成型，稳定控制材料热物理指标，是封装散热基材小试研发、中试放大与批量生产的核心设备。

一、产品细节说明

整机主要由热压主机、真空系统、液压加压系统、加热保温炉膛、循环水冷系统、电控操作台、工艺采集模块组成。 加热炉膛内部采用高纯石墨加热元件搭配多层复合石墨保温层，保温结构经过热仿真优化，保温隔层分层排布，减少热量向外辐射，降低炉壳表面温度。炉膛内部配套石墨模具承载工位，可适配方形、圆形基板模具的装夹定位，工作台面平整，加压对中性良好，避免偏压造成坯体厚薄不均。 真空管路采用不锈钢无缝管路，搭配高真空挡板阀、分子泵组、机械泵组，管路布局简洁，预留取样口、气氛进气口，可按需切换真空或惰性气氛保护模式。液压系统采用伺服液压控制单元，压力传感器实时反馈压力数值，油缸导向结构精度高，升降平稳，无冲击晃动。 电控柜独立外置，和高温炉体分离，降低高温对电器元件的老化影响；触控屏安装在操作台正面，布线规整，带有防尘柜门，适合车间长期使用。炉门采用快开式密封结构，氟橡胶 + 金属复合密封组件，耐高温、抗老化，开合便捷，装卸料方便。

二、产品性能

1. 温压协同控制：升温曲线、保温时长、加压时序、保压时间、卸压、降温曲线独立可编程，可设置多段工艺，实现先升温、后加压、分段保压的工艺逻辑，适配不同硅含量配比的 AlSiC 粉料。

2. 温场均匀性优秀：有效热压区域温差控制稳定，保证同批次基板坯体受热一致，材料热导率、热膨胀系数波动小，批次重复性好。

3. 压力控制精度高：伺服液压系统压力输出平稳，保压不掉压，加压速率可调，避免瞬间高压造成坯体分层、开裂。

4. 真空防氧化能力：高真空环境抑制铝相高温氧化，减少氧化铝夹杂，降低材料内部杂质缺陷，保障复合材料界面结合质量。

5. 工艺数据可追溯：系统自动记录温度、压力、真空度、时间数据，支持导出存储，方便品质复盘、工艺固化，满足新材料企业质检管控要求。

6. 安全联锁闭环：集成超温报警、压力超限、冷却水断水、真空异常、电机过载、炉门未关联锁，异常时声光报警并自动停机，保护工件与设备本体。

三、用材说明

· 加热元件：高纯石墨加热棒，耐高温、抗热震，真空环境下使用寿命长；

· 保温材料：高纯石墨硬毡、软毡复合保温层，低杂质、低挥发，减少对 AlSiC 坯体污染；

· 热压工作台：等静压高纯石墨平台，导热好、抗压强度高；

· 真空管路：304/316L 不锈钢无缝管，耐腐蚀、放气率低；

· 密封件：高温复合密封环，耐真空、耐老化；

· 炉体外壳：碳钢喷砂喷漆，双层水冷夹套结构；

· 液压油缸：精密镀铬油缸，密封组件选用耐高压油封，长期保压稳定；

· 电控核心部件：PLC、温控仪表、压力变送器、真空计均选用工业级元器件，抗干扰强。

四、型号与技术参数表

说明：下表为标准系列参数，可根据客户基板尺寸、吨位、温度需求定制

表格

五、产品用途

主要用于铝碳化硅（AlSiC）复合材料坯体真空热压致密化成型，覆盖不同 SiC 体积分数配比的铝碳化硅基板制备。 成型后的坯体经过后续切割、研磨、金属化、电镀等工序，制成功率 IGBT 散热基板、射频微波器件封装底座、激光二极管热沉、光电模块散热底座、航空航天轻量化散热构件。 除 AlSiC 之外，设备兼容金刚石铜、铜钨、铜钼、陶瓷金属复合材料、硬质合金、粉末冶金坯体的热压烧结，适配新材料实验室研发、小批量试样、中试试验以及规模化量产。

六、包装说明

设备拆分包装，大件炉体、液压主机采用实木熏蒸木箱包装，内部填充防震泡沫、缓冲木方，固定加固，防止运输晃动磕碰；电控柜、真空机组、仪表传感器单独独立包装，精密仪表增加防潮袋、干燥剂；管路、配件、工具、说明书、合格证、检测报告统一收纳在配件箱。 发货前做好防锈防护，外露石墨件包裹防尘保护膜，水路接口、真空接口封堵防尘；支持整车物流、零担物流，大件设备可安排专车送货，到货后协助清点货物，核对配件清单。

七、使用说明

1. 安装：设备就位后调平，连接水冷管路、供电线路、真空管路、气源管路，检查冷却水循环、油压、密封状态，由我方工程师完成初次调试。

2. 装料：待炉体降温至安全温度后打开炉门，将装好粉料的石墨模具平稳放置在热压工作台中心，保证对中，防止偏压。

3. 工艺设置：在触控屏新建或调用已存储工艺配方，设置升温、保温、加压、保压、降温参数，确认真空保护模式。

4. 运行：关闭炉门，启动真空机组抽真空，达到设定真空度后，启动加热程序，系统按预设时序自动加压、保压、缓冷；全程不要随意打开炉门。

5. 出料：整套工艺结束，炉内温度降至安全温度、压力卸除、真空破真空后，方可开门取出工件。

6. 日常维护：定期清理炉膛挥发物、检查石墨保温件有无破损、检查真空密封件、液压油液位、冷却水水质；长期停机需要保持炉膛干燥，做好防潮。

重要提醒：禁止超温、超压运行；禁止在高温状态下直接破真空，避免石墨件快速氧化、工件开裂。

八、售后服务

东莞市志远工业设备有限公司提供一站式配套服务：设备出厂前完成温场测试、压力测试、真空检漏、连续试运行，附带出厂检测报告。

1. 现场服务：设备到货后安排工程师上门安装、调试、现场操作培训，教会操作人员编程、换模、基础点检；

2. 质保服务：整机提供质保，质保期内非人为损坏的零部件免费维修更换；

3. 技术支持：提供远程视频指导，针对 AlSiC 热压工艺提供工艺参考建议，协助客户摸索、优化烧结方案；

4. 配件供应：长期原厂配件供应，石墨保温件、加热元件、密封件、真空配件均可按需采购；

5. 回访服务：交付后定期回访，了解设备运行状态，提供保养建议，快速响应故障报修。